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全自動(dòng)拋光機(jī)
TFP-2320 INDEX
該設(shè)備配置3拋光工位,8拋光頭,加工效率高。具有拋光盤冷卻和溫度監(jiān)控系統(tǒng),保證拋光過程恒溫,通過卡塞和機(jī)械手實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)上下片,
濕
進(jìn)濕出全自動(dòng)加工模式。配合不同類型的拋光液,適用于各種半導(dǎo)體材料的拋光。
TFP-2320 INDEX
拋光盤規(guī)格
OD630 mm
拋光主軸數(shù)量
3個(gè)
拋光頭數(shù)量
4組8個(gè)
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Features
產(chǎn)品特點(diǎn)
加壓方式
氣囊加壓,比例閥精確控制壓力
晶圓保濕
入水卡塞盒,保濕晶圓,防止干燥留痕
全自動(dòng)系統(tǒng)
濕進(jìn)濕出全自動(dòng)模式加工
配置豐富
4組8個(gè)拋光頭,3個(gè)拋光盤
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